解答：體積流量 × 標準密度 = 質(zhì)量流量

（在標準狀態(tài)下，它們可以間接反映質(zhì)量流量。）

舉例：

氮氣在標準狀態(tài)下的密度為約 1.25 g/L：

1 SLM = 1 L/min =1.25 g/min

100 sccm = 0.1 L/min = 0.125 g/min

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