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產(chǎn)品中心流量計氣體質(zhì)量流量控制器mfc微小氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品分類
所屬分類：氣體質(zhì)量流量控制
| 產(chǎn)品特性： | ||
◆無可移動部件 | |||
| ◆支持多種通訊協(xié)議 | |||
| ◆容易安裝及維護 | |||
| ◆高精度、高穩(wěn)定性、非常低的零漂 | |||
| ◆可測多種氣體 | |||
| ◆一體液晶顯示和按鍵操作 | |||
| ◆內(nèi)置溫度和壓力傳感器 | |||
| ◆同時顯示氣體瞬時流量和累積流量 | |||
應(yīng)用領(lǐng)域： | |||
技術(shù)參數(shù)： | ——分析儀器 | ——干刻（RIE/DRIE） | |
| 流量規(guī)格： | 0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM 0~1、2、5、10、20、30、50SLPM | ——生物技術(shù) | ——氣相色譜分析 |
——激光焊機 | ——過程自動化 | ||
準確度： | ±0.5%F.S. | ——真空鍍膜 | ——燃料電池 |
| 重復精度： | ±0.2%F.S. |
產(chǎn)品尺寸： | |
使用溫度： | -20~65℃ | ||
| 使用濕度： | 0~98%（?凝露） | ||
Max耐壓： | 3MPa | ||
| 響應(yīng)時間： | <1s | ||
| 供電電壓： | 15~40VDC | ||
| 功率： | <5W | ||
| 通訊方式： | RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA | ||
| 氣路部件材質(zhì)： | SUS304、SUS316L | ||
密封件材質(zhì)： | 氟橡膠 | ||
氣路接頭： | 快擰、快插、卡套、VCR | ||
外接顯示器尺寸： | |||
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電氣連接：DB9 | |||
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產(chǎn)品造型： | |||
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| 氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）與氣體質(zhì)量流量計（MFM），MFC是帶有控制氣體質(zhì)量流量的裝置，而MFM是不具有控制氣體質(zhì)量流量功能的裝置，無錫愛拓利電子科技有限公司作為微小氣體質(zhì)量流量控制器廠家，生產(chǎn)和出口流量控制器,熱式流量計,氣體流量計,質(zhì)量流量計,質(zhì)量氣體流量計,氧氣流量計,氣體渦輪流量計,羅茨流量計,旋進旋渦流量計。 | |||
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