氣體質量流量控制器

產品簡介

MFC300-03D 氣體質量流量控制器采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

產品型號：MFC300-03D

更新時間：2026-02-06

廠商性質：生產廠家

訪問量：909

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產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

流量計

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MFC300-03D 氣體質量流量控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

MFC300-03D 氣體質量流量控制器工作原理

產品特點

超快響應：5ms 測量響應，300ms控制響應

高重復性，寬量程比

更小體積，安裝方便

無需預熱，使用便捷

分階流量控制軟件，靈活配置

主要參數(shù)

介質要求
潔凈干燥無腐蝕性氣體
氣體種類
Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
量程
0-5，10，20，50，100，300，500 sccm；0-1，2，3，4，5 slpm
測量和控制范圍
0.2%-100%F.S. （1:500）
準確度
±0.5%F.S.
重復精度
±0.5%F.S.
線性度
±0.2%F.S.
分辨率
0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）
傳感器響應時間
5ms
控制響應時間
300ms
預熱時間
≤1s
閥門
常閉式
泄漏率
1*10-11Pa.m3/sec He

機械特性

最大工作壓力
1.1 MPa（11bar）
工作壓差范圍
0-1 MPa
工作溫度范圍
0-65℃（環(huán)境和氣體）
溫度范圍
0 - 98%無凝露
氣路接頭類型
快插、快擰、卡套、VCR（可選）
氣體接觸材質
氟橡膠、黃銅、300-系列不銹鋼、硅
密封材質
氟橡膠 FKM
防護等級
IP40
安裝方式
任意方向安裝
固定孔
M4 ↓ 5mm
重量
0.38kg

電氣和通訊

電氣連接接口類型
DB-9 male
輸入輸出阻抗
輸入阻抗>10MΩ，輸出阻抗<600Ω
數(shù)字信號
Modbus RTU（RS232，RS485），CAN
量程
0-2，10，20，30，100，300，500sccm
0-1，2，5，10，20，30slpm
通信速率
9600（默認），14400，19200，38400 bps（用戶可修改）
電源
15-40 VDC，100 mA

特征

標況
20℃，1 atm
氣體選擇
可選，具體參考說明書氣體系數(shù)
軟件
Aitoly分階流量軟件

尺寸

滿量程	高	款	深度	A	B	C	D	E	重量
5 sccm~5 slpm	66.20 mm	51.00 mm	39.00 mm	43.70 mm	27.40 mm	4.30 mm	5.80 mm	M4 ↓ 5 mm	≈0.38 kg
5 sccm~5 slpm	2.606 in	2.008 in	1.535 in	1.720 in	1.079 in	0.169 in	0.228 in	M4 ↓ 0.197 in	≈0.84 lb

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MFC300-03D 氣體質量流量控制器采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

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