氫氣流量控制器MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

• 介質(zhì)要求

  潔凈干燥氣體
• 氣體種類

  98+氣體可選
• 量程

  0-2，10，20，50，100，300，500 sccm
  0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
• 測量范圍

  0.5%F.S.（1:200）
• 控制范圍

  1%-100% FS.（1:100）
• 準確度

  ±0.5% F.S.
• 重復(fù)精度

  ±0.2%F.S.
• 線性度

  ±0.2%F.S.
• 控制響應(yīng)時間

  <3 秒
• 預(yù)熱時間

  5 min（T95），30 分鐘最佳
• 閥門

  常閉式

愛拓利精準流量測控AITOLY INSTRUMENTS由蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司及無錫愛拓利電子科技有限公司組成?？偛刻K州愛拓利位于蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號半導(dǎo)體智能制造創(chuàng)新港。分公司無錫愛拓利成立于2017年，位于無錫新吳區(qū)清源路20號大學科技園。愛拓利精準流量測控AITOLY INSTRUMENTS，專業(yè)從事氣體質(zhì)量流量測量與控制。愛拓利擁有自己的研發(fā)團隊，具有高水平的產(chǎn)品設(shè)計、結(jié)構(gòu)、硬件和軟件等研發(fā)能力，是國內(nèi)少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè)，更是國內(nèi)極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)氣體流量計及流量控制器核心部件（高精度氣體流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥）的氣體流量控制產(chǎn)品生產(chǎn)廠家。愛拓利質(zhì)量流量計及控制器被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、生命科學、燃料電池、精度分析儀器、石化、制氣、醫(yī)療、食品、工業(yè)自動化控制等行業(yè)。在不斷追求創(chuàng)新和突破的同時，愛拓利十分注重產(chǎn)品品質(zhì)。愛拓利有一套嚴謹科學的檢測標準和質(zhì)量控制體系，并通過了ISO9001質(zhì)量體系認證。通過標準化生產(chǎn)，規(guī)范化管理，愛拓利持續(xù)穩(wěn)定地向顧客提供高質(zhì)量的合格產(chǎn)品。通過多年的研發(fā)、生產(chǎn)和應(yīng)用經(jīng)驗積淀，愛拓利先后推出了多款氣體質(zhì)量流量計和控制器。支持多種通訊協(xié)議，氣體種類覆蓋面廣、控制及測量精度高、響應(yīng)速度快、性能穩(wěn)定。