質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

由流量傳感器、分流器、通道、流量調(diào)節(jié)閥和控制電路等部件組成，結(jié)構(gòu)如上圖所示。氣體通過(guò)質(zhì)量流量控制器（簡(jiǎn)稱MFC）時(shí)，大部分氣體通過(guò)層流元件，成比例的部分氣體通過(guò)流量傳感器。采用恒溫差方案的熱式傳感器將流量信號(hào)轉(zhuǎn)換為申信號(hào)，以此為基準(zhǔn)測(cè)量當(dāng)前通過(guò)MFC的氣體流量大小.

產(chǎn)品型號(hào)：MFC300

更新時(shí)間：2026-02-06

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問(wèn)量：733

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

流量計(jì)

氣密性測(cè)漏儀皂膜氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置流量顯示儀氣體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量控制器流量控制器

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如何判斷氣體質(zhì)量流量控制器是否需要維修

愛(ài)拓利氣體質(zhì)量流量計(jì)在動(dòng)態(tài)配氣儀上的應(yīng)用

MFM/MFC的使用方面有什么注意事項(xiàng)？

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MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品特點(diǎn)

超快響應(yīng)：5ms 測(cè)量響應(yīng)，300ms控制響應(yīng)

高重復(fù)性，寬量程比

更小體積，安裝方便

無(wú)需預(yù)熱，使用便捷

分階流量控制軟件，靈活配置

主要參數(shù)

介質(zhì)要求

潔凈干燥無(wú)腐蝕性氣體

氣體種類 Air，N2，02，Ar，CH4，CO2

測(cè)量和控制范圍 0.2%-100%F.S. （1:500）

準(zhǔn)確度 ±0.5%F.S.

重復(fù)精度 ±0.5%F.S.

線性度 ±0.2%F.S.

分辨率 0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）

傳感器響應(yīng)時(shí)間 5ms

控制響應(yīng)時(shí)間 300ms

預(yù)熱時(shí)間 ≤1s

閥門常閉式

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