氮?dú)赓|(zhì)量流量控制器廠家MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測(cè)氣體進(jìn)入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng)， 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

氮?dú)赓|(zhì)量流量控制器廠家MFC330 系列氣體質(zhì)量流量控制器具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好、工作壓力范圍 寬、極低零漂等特點(diǎn)。模擬量和數(shù)字量等多種通訊方式可選，內(nèi)置顯示屏可選，操作配置靈活。 MFM/MFC330廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、特種材料學(xué)科、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等行業(yè)的氣流 測(cè)量和控制。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括: 電子工藝設(shè)備, 如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、 離子注入; 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀、光譜儀、 質(zhì)譜儀及其它分析儀器。