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產(chǎn)品中心流量計氣體質量流量計MFC330蘇州氣體質量流量控制器
產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品分類
蘇州氣體質量流量控制器MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應快速調(diào)節(jié)氣體流量至設定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結構，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
產(chǎn)品特點
精準質量流量測量/控制
快速響應、高重復性
不受溫度和壓力的影響
工作壓差范圍大：0-1MPa
低壓損可選
全金屬比例閥可選
集成顯示器可選
經(jīng)濟有效的解決方案
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服務電話：
18168878188
蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號半導體智能制造創(chuàng)新港
sales@aitoly.com
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