氫氣質(zhì)量流量控制器（MFC）是一種用于精確測量和控制氣體質(zhì)量流量的設(shè)備?。

該設(shè)備的工作原理基于流體力學(xué)和傳熱原理，通過質(zhì)量流量傳感器測量氣體流經(jīng)管道時的壓差和溫度變化，進而計算出氣體的質(zhì)量流量，并通過控制閥門調(diào)節(jié)氣體流量，使其保持在設(shè)定的范圍內(nèi)?。

     產(chǎn)品特點

精準(zhǔn)質(zhì)量流量測量/控制

快速響應(yīng)、高重復(fù)性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大：0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟有效的解決方案

主要參數(shù)

介質(zhì)要求   潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程  0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測量范圍  0.5%F.S.（1:200）

控制范圍  1%-100% FS.（1:100）

準(zhǔn)確度  ±1% F.S.

重復(fù)精度  ±0.2%F.S.

線性度 ±0.2%F.S.

控制響應(yīng)時間  <3 秒

預(yù)熱時間  5 min（T95），30 分鐘最佳

閥門  常閉式