上海質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

上海質(zhì)量流量控制器 MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測(cè)氣體進(jìn)入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng)，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

產(chǎn)品型號(hào)：MFC330

更新時(shí)間：2026-02-06

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：492

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

流量計(jì)

氣密性測(cè)漏儀皂膜氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置流量顯示儀氣體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量控制器流量控制器

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　　上海質(zhì)量流量控制器 MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

　　被測(cè)氣體進(jìn)入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng)，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

產(chǎn)品特點(diǎn)

　　精準(zhǔn)質(zhì)量流量測(cè)量/控制

　　快速響應(yīng)、高重復(fù)性

　　不受溫度和壓力的影響

　　工作壓差范圍大：0-1MPa

　　低壓損可選

　　全金屬比例閥可選

　　集成顯示器可選

　　經(jīng)濟(jì)有效的解決方案

　　主要參數(shù)

　　介質(zhì)要求

　　潔凈干燥氣體

　　氣體種類 98+氣體可選

　　量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

　　0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

　　測(cè)量范圍 0.5%F.S.(1:200)

　　控制范圍 1%-100% FS.(1:100)

　　準(zhǔn)確度 ±1% F.S.

　　重復(fù)精度 ±0.2%F.S.

　　線性度 ±0.2%F.S.

　　控制響應(yīng)時(shí)間 <3 秒

　　預(yù)熱時(shí)間 5 min(T95)，30 分鐘最佳

　　閥門常閉式

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