測(cè)量氣體流量計(jì)MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測(cè)氣體進(jìn)入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng)，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

產(chǎn)品特點(diǎn)

精準(zhǔn)質(zhì)量流量測(cè)量/控制

快速響應(yīng)、高重復(fù)性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大：0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟(jì)有效的解決方案

技術(shù)參數(shù)

主要參數(shù)

介質(zhì)要求  潔凈干燥氣體

氣體種類 98+氣體可選

量程  0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測(cè)量范圍  0.5%F.S.（1:200）

控制范圍  1%-* FS.（1:100）

準(zhǔn)確度 ±1% F.S.

重復(fù)精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應(yīng)時(shí)間<3 秒

預(yù)熱時(shí)間  5 min（T95），30 分鐘最佳

閥門  常閉式

專注于微小氣體流量測(cè)量與控制

愛拓利精準(zhǔn)流量測(cè)控AITOLY INSTRUMENTS由蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司及無錫愛拓利電子科技有限公司組成?？偛刻K州愛拓利位于蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號(hào)半導(dǎo)體智能制造創(chuàng)新港。分公司無錫愛拓利成立于2017年，位于無錫新吳區(qū)清源路20號(hào)大學(xué)科技園。愛拓利精準(zhǔn)流量測(cè)控AITOLY INSTRUMENTS，專業(yè)從事氣體質(zhì)量流量測(cè)量與控制。愛拓利擁有自己的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，具有高水平的產(chǎn)品設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)、硬件和軟件等研發(fā)能力，是國(guó)內(nèi)少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè)，更是國(guó)內(nèi)極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)氣體流量計(jì)及流量控制器核心部件（高精度氣體流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥）的氣體流量控制產(chǎn)品生產(chǎn)廠家。愛拓利質(zhì)量流量計(jì)及控制器被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、生命科學(xué)、燃料電池、精度分析儀器、石化、制氣、醫(yī)療、食品、工業(yè)自動(dòng)化控制等行業(yè)。在不斷追求創(chuàng)新和突破的同時(shí)，愛拓利十分注重產(chǎn)品品質(zhì)。愛拓利有一套嚴(yán)謹(jǐn)科學(xué)的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)和質(zhì)量控制體系，并通過了ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證。通過標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn)，規(guī)范化管理，愛拓利持續(xù)穩(wěn)定地向顧客提供高質(zhì)量的合格產(chǎn)品。通過多年的研發(fā)、生產(chǎn)和應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)積淀，愛拓利先后推出了多款氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器。支持多種通訊協(xié)議，氣體種類覆蓋面廣、控制及測(cè)量精度高、響應(yīng)速度快、性能穩(wěn)定。

蘇州愛拓利是國(guó)內(nèi)極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè)。其產(chǎn)品的核心部件毛細(xì)管柱式傳感器和高精度微型氣體比例閥均已實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化、自研自制率*、全制程自主可控，其性能趕超進(jìn)口同類產(chǎn)品。愛拓利目前已為多家重點(diǎn)大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、科研院所、精密分析儀器廠家、生物制藥廠家及、環(huán)保設(shè)備及光電設(shè)備廠商提供流量計(jì)/控制器的軟硬件配套產(chǎn)品。通過廣泛的應(yīng)用，愛拓利流量計(jì)產(chǎn)品的優(yōu)良性、重復(fù)性和穩(wěn)定性得到了充分的驗(yàn)證。愛拓利的愿景是成為一家在流體測(cè)控領(lǐng)域具有影響力的創(chuàng)新型企業(yè)。我們專注于擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、純國(guó)產(chǎn)化的核心零部件的開發(fā)，以期打破進(jìn)口產(chǎn)品的技術(shù)壟斷，擺脫對(duì)進(jìn)口品牌的依賴，大力提升優(yōu)良制程和科學(xué)儀器中國(guó)產(chǎn)化替代水平和應(yīng)用規(guī)模，致力于早日打造出高品質(zhì)且性能可靠的流體測(cè)控產(chǎn)品，為解決我國(guó)基礎(chǔ)科學(xué)及優(yōu)良制程領(lǐng)域所面臨的“卡脖子"困境貢獻(xiàn)一份綿薄之力。