產(chǎn)品中心
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產(chǎn)品中心
流量計
氣體質(zhì)量流量計
MFM330微小流量氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品分類
微小流量氣體質(zhì)量流量控制器MFM毛細管熱質(zhì)量流量計,直接測量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。

產(chǎn)品特點
精準質(zhì)量流量測量/控制
快速響應、高重復性
不受溫度和壓力的影響
低壓損可選
集成顯示器可選
經(jīng)濟有效的解決方案
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 10,20,50,100,300,500 sccm
0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm
測量范圍 0.5%-100% F.S.
準確度 ±0.5% F.S.
重復精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.001 sccm(<10L/min),1sccm(10-50L/min)
傳感器響應時間 <1s
預熱時間 5 min(T95),30 分鐘最佳
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服務電話:
18168878188
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