熱式氣體質(zhì)量流量計MFC350 系列為全新升級的毛細(xì)管熱式氣體質(zhì)里流量計/控制器。

產(chǎn)品特點

精度：0.5 % F.S.

測量范圍：0.5%~100% F.S.

控制范圍：1%~100% F.S.

工作壓差范圍：0-1 MPa

≤1s 快速響應(yīng)

90+種氣體適用

量程：2 sccm-200slm

通訊方式: 模擬量，RS485, RS232, CAN, EtherCat

技術(shù)參數(shù)

主要參數(shù)

介質(zhì)要求  潔凈干燥氣體

氣體種類  130+ Available for 130+types of gas

量程  0-1, 5, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm

0-1, 2, 3, 4, 200 slpm

控制范圍  1%F.S-100%F.S.（1:100）

準(zhǔn)確度  0.2% F.S

重復(fù)精度  0.05% F.S

線性度  0.1%F.S

控制響應(yīng)時間  100ms

預(yù)熱時間  0s

閥門  常閉

泄漏率  1*10-10 Pa*m3/s He (氟橡膠密封)

1*10-11 Pa*m3/s He（全金屬密封）

分辨率 0.001sccm

愛拓利精準(zhǔn)流量測控AITOLY INSTRUMENTS由蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司及無錫愛拓利電子科技有限公司組成?？偛刻K州愛拓利位于蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號半導(dǎo)體智能制造創(chuàng)新港。分公司無錫愛拓利成立于2017年，位于無錫新吳區(qū)清源路20號大學(xué)科技園。愛拓利精準(zhǔn)流量測控AITOLY INSTRUMENTS，專業(yè)從事氣體質(zhì)量流量測量與控制。愛拓利擁有自己的研發(fā)團隊，具有高水平的產(chǎn)品設(shè)計、結(jié)構(gòu)、硬件和軟件等研發(fā)能力，是國內(nèi)少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè)，更是國內(nèi)極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)氣體流量計及流量控制器核心部件（高精度氣體流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥）的氣體流量控制產(chǎn)品生產(chǎn)廠家。愛拓利質(zhì)量流量計及控制器被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、生命科學(xué)、燃料電池、精度分析儀器、石化、制氣、醫(yī)療、食品、工業(yè)自動化控制等行業(yè)。在不斷追求創(chuàng)新和突破的同時，愛拓利十分注重產(chǎn)品品質(zhì)。愛拓利有一套嚴(yán)謹(jǐn)科學(xué)的檢測標(biāo)準(zhǔn)和質(zhì)量控制體系，并通過了ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證。通過標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn)，規(guī)范化管理，愛拓利持續(xù)穩(wěn)定地向顧客提供高質(zhì)量的合格產(chǎn)品。通過多年的研發(fā)、生產(chǎn)和應(yīng)用經(jīng)驗積淀，愛拓利先后推出了多款氣體質(zhì)量流量計和控制器。支持多種通訊協(xié)議，氣體種類覆蓋面廣、控制及測量精度高、響應(yīng)速度快、性能穩(wěn)定。