氣體種類：90+種氣體可選

測(cè)量范圍：0.5%F.S. – 100% F.S. (1:200)

控制范圍;：1%F.S. – 100% F.S. (1:100)

準(zhǔn)確度：     0.5% F.S.

工作壓差：0-1 MPa

耐壓：3 MPa

控制響應(yīng)時(shí)間<1 s

閥門類型:常閉閥

預(yù)熱時(shí)間：5 min（T95)

量程范圍：0-2 sccm…200slpm

顯示屏：內(nèi)置/外接顯示屏可選

標(biāo)況:20℃（可設(shè)置）， 1atm

通訊方式：0-5Vdc, 4-20mA, RS485, RS232, CAN, EtherCat

愛(ài)拓利創(chuàng)立于2012年，是一家質(zhì)量流量計(jì)和控制器專業(yè)研發(fā)制造商，專注于微小氣體流量精準(zhǔn)測(cè)控。

愛(ài)拓利擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的質(zhì)量流量計(jì)和控制器產(chǎn)品，其核心部件毛細(xì)管柱式流量傳感器、層流差壓式流量傳感器、高精度微型比例閥等已實(shí)現(xiàn)100%自主研制，核心生產(chǎn)設(shè)備100%自主研制、全制程自主可控。

公司具備ISO9001質(zhì)量管理和制造認(rèn)證，通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn)、規(guī)范化管理，愛(ài)拓利持續(xù)穩(wěn)定地為客戶提供高質(zhì)量的合格產(chǎn)品；并根據(jù)客戶應(yīng)用場(chǎng)景提供定制化的產(chǎn)品和解決方案，滿足多種需求。

產(chǎn)品系列：

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，層流差壓式氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體，光伏，光纖，F(xiàn)PD，真空鍍膜，新能源電池，分析儀器，生物制藥，制配氣、化工、食品、工業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域